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真空鍍膜系統(tǒng)的溫度控制要求

作者:user 日期:2021-08-07 09:21:49 點(diǎn)擊數(shù):

真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。螺桿式冷水機(jī)選用當(dāng)依照冷負(fù)荷及用處來(lái)思忖。對(duì)付低負(fù)荷運(yùn)行工況時(shí)間較長(zhǎng)的制冷體系,宜選用多機(jī)頭塞式壓縮機(jī)組或螺桿式壓縮機(jī)組,便于調(diào)理和節(jié)能。低溫冷水機(jī)它能夠提供恒溫、恒流、恒壓的一種冷卻設(shè)備。冷水機(jī)是將一定量的水注入機(jī)器的內(nèi)部水箱,通過(guò)的制冷系統(tǒng)將水冷卻,而后有機(jī)器內(nèi)部的循環(huán)水泵將低溫冷凍的水注入需要冷卻的設(shè)備內(nèi),冷凍水將設(shè)備內(nèi)部的熱量帶走,再將高溫?zé)崴俅瘟鞯剿鋬?nèi)進(jìn)行降溫。風(fēng)冷式冷水機(jī)配備各類(lèi)安全保護(hù)裝置,性能穩(wěn)定、噪音低、使用壽命長(zhǎng)、操作簡(jiǎn)單;采用液晶顯示人機(jī)界面,操作簡(jiǎn)單便捷,運(yùn)行狀況一目了然由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜體分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無(wú)光,所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮,果如真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤結(jié)合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射,結(jié)合差工效低光澤差。現(xiàn)在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子沉積在基片上成膜,解決了過(guò)去自然蒸發(fā)無(wú)法加工的膜體品種,如鍍鈦鍍鋯等等。

如果設(shè)備必須加冷卻水,由于其高頻電流。電流在導(dǎo)體中的流動(dòng)具有集膚效應(yīng),電荷會(huì)集中在導(dǎo)電體具有的表面積上,使導(dǎo)熱體在孔管中間作為導(dǎo)體用水冷卻。

為什么要用水冷卻?磁控濺射靶在發(fā)射過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生高溫,使槍變形,所以有水套對(duì)槍進(jìn)行冷卻。同時(shí),磁控濺射可以被視為鍍膜技術(shù)最杰出的成就之一還有一個(gè)重要原因。它具有濺射速率高、襯底溫升低、膜基結(jié)合力好等優(yōu)點(diǎn)。

從更深層次理論研究發(fā)展電子在非均勻電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)變化規(guī)律 ,探討了磁控濺射的更一般工作原理分析以及通過(guò)磁場(chǎng)的橫向不均勻性及對(duì)稱(chēng)性是磁約束的本質(zhì)問(wèn)題原因。磁控濺射系統(tǒng)可以被認(rèn)為是鍍膜技術(shù)企業(yè)中最具有突出的成就目標(biāo)之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結(jié)合力好、裝置性能比較穩(wěn)定。

此外,根據(jù)涂布機(jī)和加工產(chǎn)品的不同,對(duì)冷水的要求也會(huì)有所不同,普通材料蒸發(fā)選擇冷卻水塔水溫度可采用30℃左右,如果硬件溫度要求在15-25℃。

低溫冷阱的應(yīng)用是指輔助抽氣系統(tǒng)中真空鍍膜排氣系統(tǒng)由擴(kuò)散泵、機(jī)械泵、羅茨泵、低溫冷阱等組成,低溫冷阱也是不可缺少的組成部分。

1.如果涂布機(jī)是采用擴(kuò)散泵,一般泵回加一套冷阱,用于捕獲油分子。這種制冷不需要再加熱,可以使用普通的冰箱或者深冷。

如果要提高涂布機(jī)的速度,一般需要帶回低溫裝置。當(dāng)空氣被抽出時(shí),冷卻系統(tǒng)被冷卻,盒子的溫度在空氣被放氣之前被加熱。

3、周?chē)€存在涂層情況,薄膜鋁要冷卻,要-15左右,脫糖前要恢復(fù)室溫。

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真空鍍膜系統(tǒng)的溫度控制要求(圖1)

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